唌氟化氬斷供的消息一傳開，光刻城里剛提起來的一股勁，一下子就散了。
“這下麻煩了，比斷了芯片還麻煩！”一個負責(zé)光源系統(tǒng)的專家手里的報告掉在了地上，“DUV光源必須用氟化氬，沒有它，光刻機就是一堆廢鐵。我們國內(nèi)的庫存，最多只夠?qū)嶒炇矣靡粋€月。”
“他們這是算準了我們造不出這種超高純度的氣體。”
會議室里，剛才還因為天啟一號而興奮的專家們，現(xiàn)在一個說話的都沒有。
陸之遠一拳砸在桌上，茶杯里的水都濺了出來。他眼睛里的血絲很重，呼吸也粗了幾分。他抓起桌上的電話，就要往上級部門打。
“陸書記，等一下。”
一只手按住了陸之遠的手腕，是易承澤。
所有人的目光都轉(zhuǎn)到了易承澤身上，只有他表情沒什么變化。
“向上求援來不及，他們手里也沒有。”易承澤松開手，走到主屏幕前，平靜的說：“既然他們不給，那我們就自己造。”
易承澤對著空氣下達指令。
“天啟，調(diào)取江東省所有化工企業(yè)的數(shù)據(jù)。我需要他們近十年的生產(chǎn)記錄，設(shè)備清單，還有廢料成分的分析報告。”
“指令確認，正在檢索三千七百二十一家企業(yè)的一百二十萬份數(shù)據(jù)……”
屏幕上，數(shù)據(jù)流飛速滾過。
專家們還沒從被制裁的消息里緩過神來，易承澤這邊已經(jīng)開始找解決辦法了。
不到十秒，天啟系統(tǒng)給出了結(jié)果。
屏幕上彈出一張地圖，平江市郊區(qū)的一個位置閃著紅點。
【目標鎖定：平江紅星化肥廠。】
【分析：該廠采用老式磷肥生產(chǎn)工藝，其副產(chǎn)品氟硅酸，可通過低溫離心和等離子體純化技術(shù)，提取出純度%以上的氟。理論產(chǎn)出率可以滿足光刻城項目需求。】
屏幕下方，還有一張照片，是一座破舊的廠房，煙囪上全是鐵銹，門口“紅星化肥廠”幾個紅字招牌都掉漆了。
一名省府的干部小聲說：“這個廠早就資不抵債，快倒閉了，上個月還在說要破產(chǎn)清算。”
陸之遠看著屏幕上的分析報告，又看了看那張破舊廠房的照片，一下站了起來。他立刻明白了易承澤想做什么。
他抓起外套就往外走，回頭甩下一句話。
“備車！通知市局、工商和稅務(wù)的人，跟我去查封紅星化肥廠！”
旁邊的人一時沒反應(yīng)過來。
“陸書記，查封？”
“對！”陸之遠回頭，眼神里帶著一絲鋒芒，“是保護性擴建！今天晚上，我要讓這個廠，從里到外，都姓東微！”
……
當(dāng)晚，十幾輛警車和政府公務(wù)車開進了紅星化肥廠。
工人們看到這個陣仗，都不知道發(fā)生了什么事。
陸之遠直接找到了老廠長，把一份蓋著省政府紅印的緊急征用令拍在他面前。
“老同志，國家需要你們的技術(shù)。”
半小時后，易承澤帶著技術(shù)團隊趕到。
他沒管那些正在清點資產(chǎn)的官員，直接走進了滿是酸腐味的生產(chǎn)車間，找到了幾個平均年齡超過六十歲的老技工。
“幾位老師傅，我想造個東西。”易承澤在滿是油污的桌上，用粉筆畫出了一套復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)圖。
一個戴著老花鏡的老師傅看了一眼，就認了出來：“低溫分餾塔？小伙子，這東西我們只在五十年前的蘇聯(lián)圖紙上見過，精度要求太高，造不出來。”
“精度問題，我來解決。”
易承澤遞過去一個平板電腦，上面是天啟系統(tǒng)優(yōu)化過的三維設(shè)計圖，每個零件的參數(shù)都精確到了微米。
“你們只需要按照圖紙，把零件做出來。”易承澤看著幾位半信半疑的老技工，平靜的說，“我需要三座這樣的分餾塔，三天之內(nèi)，立在這里。”
聽到三天這個期限，在場的人都覺得這不可能。
但在天啟系統(tǒng)的精密計算和現(xiàn)場幾百名工程師的配合下，不可能變成了可能。
第一天，特種合金材料運抵，核心部件在天啟一號的遠程操控下加工完成。第二天塔身主體就完成了焊接，精度誤差極小。到了第三天凌晨，三座銀白色的低溫分餾塔已經(jīng)矗立在廠房中央。
第一批提純的氟化氬氣體樣本被送進質(zhì)譜分析儀。光刻城的中央控制室里，所有人都屏住了呼吸。
屏幕上，一個數(shù)字慢慢跳了出來。
純度：%。
這個純度，比美國人斷供的最高標準還要高。
“成功了！”
控制室里先是寂靜，隨后不知是誰第一個喊了出來，接著整個大廳都沸騰了。
一名財務(wù)人員聲音發(fā)抖的報出一個數(shù)字：“我們的生產(chǎn)成本，只有從西方進口價格的十分之一！”
陸之遠長長吐出一口氣，緊握的拳頭終于松開了些。他看向易承澤，聲音沙啞的問：“小易，這口氣，怎么出？”
易承澤看著屏幕上的數(shù)字，嘴角微微動了動。
“很簡單。”他轉(zhuǎn)頭對姜青竹說，“青竹，聯(lián)系我們剛收購的日本那家半導(dǎo)體貿(mào)易公司。”
“把我們的特種氣體換個包裝，賣回給他們。價格，就比美國貨便宜一成。”
“他們想用這個卡我們，我們就用這個賺錢，把他們的市場搶過來。”
消息傳出，之前還在說中國光刻機項目已經(jīng)完蛋的西方媒體，一夜之間都安靜了。兩天后，《華爾街日報》在一個不起眼的版面，刊登了一篇分析文章，標題是：《我們是否低估了中國在基礎(chǔ)化工領(lǐng)域的潛力？》。
然而，光刻城內(nèi)部，新問題又來了。
“易總，”從日本來的光學(xué)專家鈴木健，拿著一份測試報告找到了易承澤，語氣很急，“我們用天啟一號磨出的第一批石英透鏡，單片精度是頂級的，但組成透鏡組后，色差問題很嚴重。光線穿過鏡片后會彌散，達不到7納米工藝的要求。”
整個光學(xué)團隊為此開了好幾天的會，還是沒找到辦法。
易承澤在草稿紙上畫了個簡單的示意圖。
“既然空氣不行，那我們就換個介質(zhì)。”
他指著圖紙上，透鏡和晶圓之間的區(qū)域，寫下一個字。
“水。”
“在鏡頭和晶圓之間注入超純水，利用水的折射率來縮短波長，消除色差。”
鈴木健看著那個“水”字，先是一愣，隨即眼睛越睜越大。
“液浸式光刻！這個構(gòu)想只在理論界存在過！易總，你是怎么想到的？”
連續(xù)解決幾個大難題后，在一次持續(xù)了三十六小時的技術(shù)會議上，易承澤正說著話，突然感覺眼前發(fā)黑，身體晃了一下，就什么都不知道了。
醫(yī)院，特護病房。
姜青竹握著易承澤冰涼的手，守了一夜，眼圈通紅。
清晨，陸之遠拎著保溫桶來看望，輕輕推開病房門，看到姜青竹趴在床邊睡著了，一只手還握著易承澤的手。晨光照進來，落在兩人手上。
陸之遠腳步停住，放輕了動作，把保溫桶放在門口，又悄悄退了出去，對身后的秘書輕聲說：“通知下去，這幾天，天塌下來，也別去煩他。”
技術(shù)在突破，項目在飛奔。
然而，就在東微集團準備進行第一次“光刻矩陣”全系統(tǒng)聯(lián)調(diào)測試時，一份來自省電力公司的緊急報告，被送到了陸之遠的辦公桌上。
報告只有一句話。
“陸書記，根據(jù)東微提交的設(shè)備功耗清單，一旦光刻城全面運轉(zhuǎn)，其瞬時功耗將超過全省現(xiàn)有電網(wǎng)負荷的峰值。”
報告的結(jié)論，像一記重錘，狠狠砸在每個人心上。
全省的電力，都供不起這個剛剛誕生的“吞電怪獸”。