病房里,空氣都像是凝固了。
陸遠嘴角的笑意僵住了,他緩緩放下手里的報告,胸口用力的起伏,眼睛通紅。
“他們這是要我們的命。”
陸遠一拳砸在病床的床頭柜上,水杯跳起來,摔碎了一地。
“他們就是不想讓我們活。”
激光器,也就是光源,是光刻機的核心部件。
之前的所有準備,都缺了這個關鍵的核心。現在,對方直接把供應給斷了。這直接斷掉了這條技術路線。國內不是沒有準分子激光器,但功率和穩定性都差得太遠,根本用不到7納米的量產上。
秘書站在一旁,臉色發白,大氣都不敢出。
“給我備車,我現在就去京城。”陸遠猛的坐起來,完全不顧身上的傷口。
“陸書記,您的身體……”
“死不了。”陸遠一把拔掉手背上的輸液針,眼神冰冷。“我就是爬,也要爬到京城去。我不信,我們這么大的國家,連一束光都造不出來。”
就在這時,病房的門被輕輕的推開。
易承澤走了進來,身后跟著眼圈發紅的姜青竹。
“陸書記,別激動。”易承澤的聲音很平靜,他走到窗邊,拉開了窗簾,讓清晨的陽光照進病房。
“能不激動嗎?”陸遠的聲音沙啞,“小易,他們把路堵死了,徹底堵死了。”
易承澤轉過身,陽光在他身后形成一道輪廓,看著陸遠搖了搖頭。
“他們堵死的,是他們走過的那條路。”
易承澤停頓了一下,接著說:“我們可以走一條新路。”
整個病房瞬間安靜下來。
陸遠愣住了,秘書也愣住了。
易承澤走到陸遠的病床前,拿起桌上一張白紙和一支筆,在上面畫了個圓環。
“激光器的能量轉換效率太低,為了得到一點可用的紫外光,絕大部分能量都變成了廢熱。”他看著陸遠,平靜的問,“我們為什么不直接去創造光?”
不等陸遠反應,易承澤拿起自己的手機,撥通了一個加密號碼。
電話響了一聲就被接通,對面傳來一個有力的聲音:“承澤?”
“錢老,是我。”易承澤的語氣帶著尊敬,“我需要一樣東西。我們淘汰下來的那套同步輻射裝置,還在不在?”
電話那頭沉默了兩秒。
“在。在戈壁灘的地下基地里封存著。你想做什么?”錢老的聲音變得嚴肅。
“我想借它的原理,造一個太陽。”
電話那頭,呼吸聲都重了。過了十幾秒,錢老才開口,聲音里帶著一股壓抑不住的激動:“圖紙發過來。需要什么,我給你開最高權限的通行證。”
“謝謝錢老。”
易承澤掛斷電話,將手機屏幕轉向陸遠。屏幕上,是一個他從未見過的,非常復雜的環形設備三維模型。
“這是…什么?”陸遠下意識的問。
“穩態微聚束光源,SSMB。”易承澤淡淡開口,“一種小型的環形粒子加速器。我們可以用它,讓電子在磁場中以接近光速運動,在轉彎的瞬間,甩出高強度的極紫外光,也就是EUV。”
“我們直接改變光的波長,跳過DUV,直接進入EUV時代。”
他指著屏幕上的模型,聲音不大,卻讓陸遠的心臟重重一跳。
“ASML的EUV光源,功率是250瓦。而我們的SSMB,理論功率可以達到500瓦。”
“我們不追趕他們的光刻機了。”易承澤看著已經說不出話的陸遠,嘴角微微上揚,“我們給光刻城,裝一個自己的人造太陽。”
陸遠看著眼前的年輕人,看著他眼里的平靜和自信,突然笑了。他笑的越來越大聲,最后笑的牽動了傷口,用力的咳嗽起來。
“好…好。好一個自己的人造太陽。”他一把抓過秘書的手機,直接在病床上開始下命令。
“立刻通知下去,全省所有鋼鐵廠的廢舊鋼材,還有電機廠的特種磁鐵和超高壓電容,全部列為戰略物資,優先供應光刻城。”
“基建那邊也動起來,我要在光刻城地下挖一個直徑一百米的環形空間,不管什么地質結構,三天內必須挖好。”
“錢和人,我來解決。誰敢擋路,就地免職。”
一道道指令從這間小小的病房發出,整個江東省再次運轉起來。
三天后,光刻城地下五十米,一個巨大的環形隧道已經建好。
大量的特種電磁鐵被運進場,在天啟系統的指揮下,由機械臂安裝在環形軌道上,精度達到微米級。
核心的注入、加速和偏轉部件,由錢老安排,從大西北的戈壁空運到了平江。
第七天,凌晨四點。
地下加速器控制中心,燈火通明。
易承澤站在主控臺前,五十名專家站在他身后,所有人都屏住了呼吸。
“天啟,進行軌道校準。”
“指令確認。磁場微調中…校準完成。軌道誤差小于一根頭發絲的百萬分之一。”
易承澤深吸一口氣,看著大屏幕上代表環形軌道的綠色光圈。
“注入器,準備。”
“加速電場,開始加載。”
“偏轉磁場,同步激活。”
隨著他冷靜的下達指令,屏幕上的數據飛速跳動。
“能量已達到閾值。”天啟的機械音響起。
易承澤的目光落在正中央的紅色按鈕上,他伸出手,輕輕按下。
“點火。”
響起一聲輕微的嗡鳴。
一道看不見的電子束被注入環形真空管道,在強大的磁場約束下,開始了加速。一圈,十圈,一千圈…只用了不到一秒,它的速度就達到了光速的%。
就在這時,軌道上一個特定的偏轉磁場瞬間開啟。
那束高速電子流猛的一轉。
瞬間,一道亮光從軌道的端孔射出,經過層層聚焦,精準的射向不遠處的一塊測試硅片上。
控制中心里,負責功率檢測的專家死死盯著屏幕,下一秒大喊出聲。
“功率…功率512瓦,是ASML的兩倍。”
荷蘭,費爾德霍芬,ASML總部。
技術總監尤里·范戴克正在喝著咖啡,突然,一名下屬慌張的沖了進來,手里拿著一份衛星能量監測報告。
“總監。中國平江。我們監測到一次高能級的同步輻射能譜,就在地下。能量波動…超過了我們所有EUV設備的總和。”
尤里一把奪過報告,看著上面那道能量峰值曲線,手里的咖啡杯“哐當”一聲掉在地上。
尤里嘴唇哆嗦著,說不出話來:“上帝…他們…他們在地下建了一個太陽。”
平江,光刻城。
無塵車間里,第一塊由SSMB光源完成曝光的12英寸晶圓,緩緩走下流水線。
在超高倍電子顯微鏡下,上面用硅原子刻下了一行小字:
【天啟·中國芯】
“報告,良品率…98%。”
控制中心里,所有人都歡呼起來,互相擁抱,激動得哭了。
在歡呼聲中,易承澤轉過身,和同樣眼含淚光的姜青竹緊緊擁抱在一起。
這一刻,所有的付出都有了回報。
消息傳出的瞬間,全球科技股應聲暴跌,納斯達克指數一分鐘內熔斷。
半小時后,一條緊急新聞推送到了全球所有金融終端上。
美國財政部長緊急召開新聞發布會,宣布,將立刻派出由他本人率領的高級別代表團,訪問平江。
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第346章 他們斷了光,我們就自己造個太陽!
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